Il nuovo sistema Zepto con camera rettangolare brevettata offre maggiore comodità di utilizzo rispetto alla precedente camera rotonda in quanto i campioni possono essere appoggiati direttamente sul fondo della camera senza la necessità di utilizzare un porta-oggetto.
Rimangono invariati gli altri vantaggi del sistema ZEPTO:
- Soluzione economica per istituti di ricerca
- Camera in vetro per processi ultra-clean: non avviene alcun sputtering di particelle di metallo dalle pareti o dell’elettrodo della camera
- Facile pulizia della camera
- Elevata densità di potenza
- Generatori kHz e MHz per ogni applicazione di pulizia, attivazione ed etching al plasma
- Controllo manuale o tramite PC Windows
