Nei sistemi a plasma viene generato un gas ionizzato che modifica fisicamente e chimicamente la superficie dell’oggetto trattato. Si distingue tra sistemi a plasma a bassa pressione e plasma atmosferico.
Apportando energia la materia passa per gli stati SOLIDO – LIQUIDO – GASSOSO – PLASMA
Il plasma è un gas nel quale una parte significativa di atomi è stata ionizzata tramite l’energia introdotta da, per esempio, un forte campo elettromagnetico che induce la separazione degli elettroni dal nucleo dell’atomo creando particelle potenzialmente reattive
COME FUNZIONANO I SISTEMI PLASMA A BASSA PRESSIONE?
I sistemi plasma a bassa pressione (anche: plasma a vuoto) devono essere configurati in maniera specifica secondo l’applicazione prevista. In particolare per i trattamenti etching e coating occorre costruire adeguatamente i componenti principali di un sistema a bassa pressione
Secondo il principio di funzionamento “Gliding Arc”, una scarica ad arco viene generata a ca.10kV. In questo modo si forma una zona di plasma “freddo”, che può essere usata come strumento di trattamento.
La larghezza del trattamento è di circa 50 – 60 mm. La distanza del trattamento può essere fino a circa 20 mm. I dispositivi sono dotati di un controllo a microprocessore per la generazione del plasma che imposta la larghezza di impulso dello scarico e il flusso d’aria compressa.
Plasma a bassa pressione oppure plasma atmosferico?
La scelta del tipo di trattamento deve essere effettuata in base alla specifica applicazione in quanto le caratteristiche dei trattamenti al plasma a bassa pressione ed il plasma atmosferico sono molto diversi tra di loro. In linea di massima il plasma a bassa pressione è più efficace e più versatile in quanti si possono usare diversi gas di processo e precursori. Il plasma atmosferico è ideale per trattamenti veloci in linee di produzione.