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Sistemi standard da tavolo e stand-alone

Sistemi standard da tavolo e stand-alone
SISTEMI A BASSA PRESSIONE STANDARD

Yocto

MODELLO YOCTO
IMMAGINE (ESEMPIO)

PROCESSI TIPICI

 

·         Pulizia

·         Attivazione
APPLICAZIONI

·         Medicina odontoiatrica

·         Per impianti e protesi dentali
Controllo ·         Manuale
Camera da vuoto rotonda vetro borosilicato   D=50mm L=150mm V=1,2l
Regolazione gas ·         1 canale filtrato non regolabile
Generatore ·         LF (100kHz)
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale integrata
Scheda tecnica Scheda tecnica Yocto

Zepto

MODELLO ZEPTO
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching
APPLICAZIONI ·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

 

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rotonda vetro borosilicato   D=105mm L=200mm V=1,7l
vetro di quarzo   D=105mm L=300mm V=2,6l
vetro borosilicato W6 D=160mm L=180mm V=4,0l
vetro di quarzo W6 D=160mm L=180mm V=4,0l
Alluminio RIE D=190mm L=60mm V=1,0l
rettangolare vetro borosilicato   LxPxA= 120x136x66mm V=1,0l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/100kHz)

 

·         RF 13,56kHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale

 

·         Pompe a secco
di varie portate
Opzioni ·         Pirani

 

·         RIE

·         Wafer 6” Set

·         Slow pump down

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Zepto

Atto

MODELLO ATTO
 
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching
APPLICAZIONI ·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

 

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rotonda vetro borosilicato D=211mm L=300mm V=10,5l
vetro di quarzo D=211mm L=300mm V=10,5l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/100kHz)

 

·         RF 13,56kHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Pirani

 

·         Slow pump down

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Atto

Femto

MODELLO FEMTO
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

 

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rotonda acciaio inox D=100mm L=287mm V=2l
rotonda vetro borosilicato D=95mm L=280mm V=2l
rotonda vetro di quarzo D=95mm L=280mm V=2l
rettangolare Acciaio inox A=103x103mm L=285mm V=3l
rettangolare alluminio A=110x120mm L=300mm V=3l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/100kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Pirani/Baratron

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Slow pump down

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Femto

Pico

MODELLO PICO
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

 

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rotonda acciaio inox D=150mm L=320mm V=ca. 5l
rotonda vetro borosilicato D=130mm L=300mm V=ca. 5l
rotonda vetro di quarzo D=130mm L=300mm V=ca. 5l
rettangolare Acciaio inox A=160x160mm L=325mm V=ca. 8l
rettangolare alluminio A=150x160mm L=325mm V=ca. 7l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/100kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Trattamento wafer

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Pico

Nano

MODELLO NANO
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rotonda acciaio inox D=267mm L=420mm V= 24l
rotonda vetro borosilicato D=240mm L=400mm V= 18l
rotonda vetro di quarzo D=240mm L=400mm V=18l
rettangolare Acciaio inox A=240x240mm L=420mm V=24l
rettangolare alluminio A=240x240mm L=420mm V=24l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/100kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Trattamento wafer

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Nano

Tetra 30

MODELLO TETRA 30
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rettangolare acciaio inox A=305x305mm L=370mm V= 34l
rettangolare acciaio inox A=400x140mm L=625mm V= 35l
rettangolare acciaio inox A=305x300mm L=625mm V=50l
rettangolare alluminio A=305x300mm L=370mm V=34l
rettangolare alluminio A=305x300mm L=620mm V=50l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/80kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Trattamento wafer

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda Tecnica Scheda tecnica Tetra 30

Tetra 45

MODELLO TETRA 45
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
  rettangolare alluminio A=125x572mm L=650mm V=45l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/80kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Accessori per plasma polimerizzazione

 

·         Filtro a carbone attivo

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda Tecnica Scheda tecnica Tetra 45

Tetra 100

MODELLO TETRA 100
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rettangolare acciaio inox A=400x400mm L=625mm V= 100l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (80kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Trattamento wafer

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Tetra 100

Tetra 150

MODELLO TETRA 150
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching

·         Coating
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Semi-automatico

 

·         Selezionatore rotativo

·         Basic PC

·         Full PC
Camera da vuoto rettangolare acciaio inox A=400x600mm L=625mm V=150l
rettangolare alluminio A=400x600mm L=625mm V=150l
rettangolare alluminio A=600x400mm L=625mm V=150l
Regolazione gas ·         Valvole a spillo

 

·         MFC
Generatore ·         LF (40kHz/80kHz)

 

·         RF 13,56kHz

·         2,45GHz
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Ripiani multi-livello, RIE etc.

 

·         Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri

·         Accessori per plasma polimerizzazione

·         Filtro a carbone attivo

·         Trattamento wafer

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica Scheda tecnica Tetra 150

Tetra 320R

MODELLO TETRA 320R
IMMAGINE (ESEMPIO)
PROCESSI TIPICI

 

 

 ·         Pulizia

 

·         Attivazione

·         Etching
APPLICAZIONI ·         Produzione

 

·         Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM

·         Automotive

·         Tecnologia dei semiconduttori

·         Microsistemi

·         Sensori

·         Sterilizzazione

·         Lavorazione plastiche e gomme

·         Tecnologia medicale

·         Tecnologia dei tessili

·         Archeologia
Controllo ·         Full PC
Camera rotonda Acciaio inox D=640mm L=1000mm V=320l
Regolazione gas ·         2 x MFC
Generatore ·         LF (80kHz/300W)
Pompa da vuoto ·         Pompe ad olio minerale / PFPE

 

·         Pompe a secco di varie portate
Opzioni ·         Filtro a carbone attivo

 

·         Slow ventilation

·         Etc…
Scheda tecnica  Scheda tecnica Tetra 320R
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