| MODELLO | YOCTO | |||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | |||||
PROCESSI TIPICI
| · Pulizia · Attivazione | |||||
| APPLICAZIONI | · Medicina odontoiatrica · Per impianti e protesi dentali | |||||
| Controllo | · Manuale | |||||
| Camera da vuoto | rotonda | vetro borosilicato | D=50mm | L=150mm | V=1,2l | |
| Regolazione gas | · 1 canale filtrato non regolabile | |||||
| Generatore | · LF (100kHz) | |||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale integrata | |||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Yocto | |||||
| MODELLO | ZEPTO | |||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | |||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching | |||||
| APPLICAZIONI | · Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM
· Tecnologia dei semiconduttori · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | |||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | |||||
| Camera da vuoto | rotonda | vetro borosilicato | D=105mm | L=200mm | V=1,7l | |
| vetro di quarzo | D=105mm | L=300mm | V=2,6l | |||
| vetro borosilicato | W6 | D=160mm | L=180mm | V=4,0l | ||
| vetro di quarzo | W6 | D=160mm | L=180mm | V=4,0l | ||
| Alluminio | RIE | D=190mm | L=60mm | V=1,0l | ||
| rettangolare | vetro borosilicato | LxPxA= 120x136x66mm | V=1,0l | |||
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | |||||
| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz | |||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale
· Pompe a secco | |||||
| Opzioni | · Pirani
· RIE · Wafer 6” Set · Slow pump down · Slow ventilation · Etc… | |||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Zepto | |||||
| MODELLO | ATTO | ||||
 | |||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching | ||||
| APPLICAZIONI | · Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM
· Tecnologia dei semiconduttori · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rotonda | vetro borosilicato | D=211mm | L=300mm | V=10,5l |
| vetro di quarzo | D=211mm | L=300mm | V=10,5l | ||
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Pirani
· Slow pump down · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Atto | ||||
| MODELLO | FEMTO | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM
· Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rotonda | acciaio inox | D=100mm | L=287mm | V=2l |
| rotonda | vetro borosilicato | D=95mm | L=280mm | V=2l | |
| rotonda | vetro di quarzo | D=95mm | L=280mm | V=2l | |
| rettangolare | Acciaio inox | A=103x103mm | L=285mm | V=3l | |
| rettangolare | alluminio | A=110x120mm | L=300mm | V=3l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Pirani/Baratron · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Slow pump down · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Femto | ||||
| MODELLO | PICO | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM
· Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rotonda | acciaio inox | D=150mm | L=320mm | V=ca. 5l |
| rotonda | vetro borosilicato | D=130mm | L=300mm | V=ca. 5l | |
| rotonda | vetro di quarzo | D=130mm | L=300mm | V=ca. 5l | |
| rettangolare | Acciaio inox | A=160x160mm | L=325mm | V=ca. 8l | |
| rettangolare | alluminio | A=150x160mm | L=325mm | V=ca. 7l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Pico | ||||
| MODELLO | NANO | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rotonda | acciaio inox | D=267mm | L=420mm | V= 24l |
| rotonda | vetro borosilicato | D=240mm | L=400mm | V= 18l | |
| rotonda | vetro di quarzo | D=240mm | L=400mm | V=18l | |
| rettangolare | Acciaio inox | A=240x240mm | L=420mm | V=24l | |
| rettangolare | alluminio | A=240x240mm | L=420mm | V=24l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Nano | ||||
| MODELLO | TETRA 30 | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rettangolare | acciaio inox | A=305x305mm | L=370mm | V= 34l |
| rettangolare | acciaio inox | A=400x140mm | L=625mm | V= 35l | |
| rettangolare | acciaio inox | A=305x300mm | L=625mm | V=50l | |
| rettangolare | alluminio | A=305x300mm | L=370mm | V=34l | |
| rettangolare | alluminio | A=305x300mm | L=620mm | V=50l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda Tecnica | Scheda tecnica Tetra 30 | ||||
| MODELLO | TETRA 45 | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| rettangolare | alluminio | A=125x572mm | L=650mm | V=45l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Accessori per plasma polimerizzazione
· Filtro a carbone attivo · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda Tecnica | Scheda tecnica Tetra 45 | ||||
| MODELLO | TETRA 100 | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rettangolare | acciaio inox | A=400x400mm | L=625mm | V= 100l |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Tetra 100 | ||||
| MODELLO | TETRA 150 | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC | ||||
| Camera da vuoto | rettangolare | acciaio inox | A=400x600mm | L=625mm | V=150l |
| rettangolare | alluminio | A=400x600mm | L=625mm | V=150l | |
| rettangolare | alluminio | A=600x400mm | L=625mm | V=150l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC | ||||
| Generatore | · LF (40kHz/80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Tetra 150 | ||||
| MODELLO | TETRA 320R | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  | ||||
| PROCESSI TIPICI
| · Pulizia
· Attivazione · Etching | ||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia | ||||
| Controllo | · Full PC | ||||
| Camera | rotonda | Acciaio inox | D=640mm | L=1000mm | V=320l |
| Regolazione gas | · 2 x MFC | ||||
| Generatore | · LF (80kHz/300W) | ||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco di varie portate | ||||
| Opzioni | · Filtro a carbone attivo
· Slow ventilation · Etc… | ||||
| Scheda tecnica | Scheda tecnica Tetra 320R | ||||