Parylene (in Italiano Parilene) è la soluzione ideale per il coating protettivo di oggetti di elevata qualità. Parylene è l’abbreviazione per il gruppo di polimeri poly (para-xylylene) che consistono di diversamente sostituiti para-xylylene.
Lo stato iniziale per la deposizione CVD sono i cosidetti dimeri (dimers).
Un dimero (dimer) è una molecola che consiste di 2 identici monomeri. Il processo di deposizione avviene tramite una specifica tecnologia CVD.
- La deposizione è perfettamente conforme, cioè copia esattamente la superficie anche se si tratta di spigoli netti oppure cavità profonde
- La deposizione avviene “pinhole-free” cioè senza difetti già da uno spessore di ca. 0,5µm
- Parylene è chimicamente insolubile e resistente a praticamente tutte le sostanze chimiche
- Parylene costituisce un’ottima barriera ai vapori e liquidi
- Parylene è un ottimo isolatore elettrico con una resistenza dielettrica molto elevata
- Parylene ha delle caratteristiche di lubrificazione a secco con basso coefficiente di attrito
- Parylene è idrofobico (angolo di contatto tra 92° e 98°)
- Parylene è trasparente tra il 90% e 96% nello spettro visibile (dipende dal tipo di Parylene)
- Parylene è biocompatibile: i tipi C ed N possono essere certificati USP Class VI, ISO 10993 ed FDA.
- La deposizione avviene a freddo (temperatura d’ambiente), pertanto gli oggetti da trattare non vengono esposti a stress termico
La deposizione di Parylene è diventata la prima scelta per applicazioni esigenti in tanti settori industriali come per esempio:
- Industria medicale e farmaceutica
- Elettronica
- Aeronautica / Spaziale
- Sensori
- Automotive
1 – Evaporatore del dimero (temperatura 130-180°C) 2 – Camera per pirolisi del dimero in due monomeri (temperatura 550-800°C) 3 – Camera da vuoto per la deposizione a freddo (pressione base ca.0,01mbar, deposizione tra 0,02mbar e 0,1mbar) 4 – Giostra / porta – oggetti rotante 5 – Trappola fredda per la protezione della pompa da vuoto (azoto liquido, temperatura circa -196°C) 6 – Pompa da vuoto 7 – Controllo PC: regolazione e monitoraggio dei parametri di processo
Il processo di deposizione si svolge nei seguenti passi:
- Evaporazione del dimero del Parylene (a temperatura d’ambiente in forma di polvere)
- Pirolisi (cracking) del dimero al fine di creare il monomero
- Deposizione a freddo del monomero sull’oggetto da rivestire
- tipo base – privo di alogeni
- ottima penetrazione in cavità
- ottime proprietà dielettriche e resistenza dielettrica (bassa costante dielettrica)
- Approvato FDA
- Temperatura massima di lunga durata: 60° C
- un atomo di cloro nell’anello aromatico
- il tipo più comunemente usato
- la più bassa permeabilità all’umidità (acqua) e gas – ottime proprietà di barriera e di protezione da corrosione
- velocità di deposizione elevata, il tipo di deposizione più economico
- buone caratteristiche meccaniche
- approvato FDA
- temperatura massima di lunga durata: 80° C
- 2 atomi di cloro nell’anello aromatico
- buone caratteristiche meccaniche
- bassa permeabilità all’umidità (acqua) e gas
- la più elevata temperatura massima di lunga durata dei tipi Parylene con atomi di cloro: 100° C
- 4 atomi di fluoro nell’anello aromatico
- buone caratteristiche dielettriche
- buona penetrazione nelle cavità
- temperatura massima di lunga durata: 200° C
- 4 atomi nel gruppo alifatico
- la migliore penetrazione nelle cavità
- resistente alla radiazione UV
- coefficiente di attrito molto basso
- approvato FDA
- eccellenti proprietà dielettriche e resistenza dielettrica (bassa costante dielettrica)
- la più elevata temperatura massima di lunga durata : 350° C