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Generatori per plasma khz-mhz-ghz

GENERATORI AD ALTA FREQUENZA PER SISTEMI PLASMA
1 - GENERATORI PER PLASMA A BASSA PRESSIONE

Nei sistemi plasma a bassa pressione vengono utilizzati generatori di diverse frequenze:

  • Generatori LF (40kHz-100kHz)
  • Generatori RF (13,56MHz)
  • Generatori a micro-onde (2,45GHz)

La scelta del generatore con relativa frequenza più idoneo va determinato in base all’applicazione prevalente. In linea di massima ogni processi di base, ovvero pulizia, attivazione, etching e plasma-polimerizzazione, funziona meglio ad una specifica frequenza. Anche il tipo di componenti utilizzati, per esempio semi-conduttori etc., incidono sulla scelta del generatore. In sistemi utilizzati per diverse applicazioni vengono installati più generatori di frequenza diversa.

I generatori possono essere acquisiti anche separatamente dal sistema plasma.

Potenza max. di uscita: 500 W
Corrente max. di uscita: 1,3 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di potenza: 560 W
Tensione di ingresso: 210…230VAC 50/60Hz
Corrente di ingresso: max 2,6 amp
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Impostazione della potenza:

Modalità di corrente: 0,1A – 1,3A modalità di potenza: 10 W – 500 W (tramite DSUB o connessione PC), con modalità ad impulsi:
Larghezza di impulso: 100 µs – 100 ms
Ritardo di impulso: 100 µs – 100 ms

Precisione: superiore a ±5 % del valore finale
Protezione da discrepanza in caso di circuito aperto e cortocircuito:
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincronizzato
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 – +40 °C
Raffreddamento: max. 70 m³/h
DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 5,6 kg
Applicazioni: generatori di plasma a bassa pressione

Potenza max. di uscita: 1200 W
Corrente max. di uscita: 4 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di potenza: 1500 W
Tensione di ingresso: 210…230 VAC 50/60 Hz
Corrente di ingresso: max 3 x 5 amp
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Impostazione potenza: modalità di corrente: 1A – 4A, modalità di potenza: 300 W – 3000 W (tramite DSUB o connessione PC), con modalità ad impulsi:
•    Larghezza di impulso: 100 µs – 100 ms
•    Ritardo di impulso: 100µs – 100ms
Precisione: superiore a ±5 % del valore finale
Protezione da mismatching in caso di circuito aperto e cortocircuito
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincronizzato
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 – +40 °C
Raffreddamento: max. 70 m³/h portata d’aria

Connettore DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 18 kg
Applicazioni: generatori di plasma a bassa pressione

Potenza max. di uscita: 3000 W
Corrente max. di uscita: 10 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di potenza: 3600 W
Tensione di ingresso: 210…230 VAC 50/60 Hz
Corrente di ingresso: max 3 x 7 amp
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Impostazione potenza: modalità di corrente: 1A – 4A, modalità di potenza: 300W – 3000W (tramite DSUB o connessione PC), con modalità ad impulsi:
•    Larghezza di impulso: 100µs – 100ms
•    Ritardo di impulso: 100µs – 100ms
Precisione: superiore a ±5 % del valore finale
Protezione da mismatching in caso di circuito aperto e cortocircuito
•    Tempo di spegnimento per circuito aperto/cortocircuito: < 1 sec
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di regolazione: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincronizzato
Range di temperatura (in fase di funzionamento): +15 – +40 °C
Raffreddamento: max. 70 m³/h portata d’aria

Connettore: DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 18 kg
Applicazioni: generatori di plasma a bassa pressione

Potenza max. di uscita: 5000 W
Corrente max. di uscita: 10 A
Tensione max. di uscita: 1200 VAC
Consumo max. di energia: 5700 W
Alimentazione di rete: 210…230VAC 50/60Hz
Corrente di ingresso: max 3 x 7 A
Efficienza: > 90 % (a potenza nominale)
Impostazione della potenza: modalità corrente: 1A – 4A, modalità di alimentazione: 300 W – 3000 W (tramite DSUB o connessione PC)

Modalità burst:
•    Larghezza di impulso: 100 µs – 100 ms
•    Ritardo di impulso: 100 µs – 100 ms
Precisione: < ±5 % del valore finale
Disallineamento del carico per “uscita aperta” e “cortocircuito”
•    Tempo di spegnimento a carico aperto: < 1sec.
•    Tempo di spegnimento in caso di errore di impostazione: < 5 sec
Funzionamento in parallelo sincrono
Range di temperatura di esercizio: +15 – +40 °C
Raffreddamento: max. 323 m³/h portata d’aria (a temperatura controllata)
Interfaccia DSUB25 (femmina) per il comando a distanza tramite sistemi di controllo industriali (livello di tensione 24/10V)
Peso: 18 kg
Applicazione: generatore di plasma a bassa pressione

  • Potenza di uscita nominale RF: 100 watt
  • Frequenza: 13,560 MHz ± 100 ppm
  • Potenza di uscita RF regolabile: 0 – 100 watt, continua
  • Il generatore può lavorare ad impulsi: min. on-time: 5µs
  • Impedenza: 50 ohm
  • Stabilità RF: inferiore al 5% (a seconda del dispositivo di matching utilizzato)
  • Protezione da mismatching integrata (da circuito aperto a cortocircuito)
  • Mismatching massima senza riduzione di potenza: VSWR = 1,2
  • RF attivabile a pieno carico
  • Alimentazione di rete: 88 – 264 V WS / 47 – 63 Hz (con alimentatore esterno)
  • Potenza assorbita: max. 220 watt
  • Connessione per controllo remoto per:  RF on/off – impostazione della potenza RF (0…10 V = 0 … 100 %)
  • Uscita RF: connettore N
  • Alimentazione di rete: modulo di alimentazione esterna
  • Massa: ca. 6,5 kg (generatore) più 1,0 kg (alimentatore)

Campi di applicazione generatori RF: 

  • Plasma a bassa pressione
  • Riscaldamento RF

Generatore RF 13,56 MHz, 300 W 

  • Potenza nominale RF: 300 watt
  • Frequenza: 13,560 MHz ± 100 ppm
  • Potenza di uscita RF regolabile: 0 – 300 watt, continua
  • Il generatore può lavorare ad impulsi: min. on-time: 5µs
  • Impedenza: 50 ohm
  • Stabilità RF: inferiore al 5% (a seconda del dispositivo di matching utilizzato)
  • Protezione da mismatching integrata (da circuito aperto a cortocircuito)
  • Mismatching massimo senza riduzione di potenza: VSWR = 1,2
  • RF attivabile a pieno carico
  • Alimentazione di rete: 88 – 264 V WS / 47 – 63 Hz
  • Potenza assorbita: max. 580 watt
  • Connessione per controllo remoto per:  RF on/off, Impostazione della potenza RF (0…10 V = 0 … 100 %), dispositivo di adattamento automatico, controllo PC o impianto al plasma
  • Uscita RF: connettore N
  • Alimentazione di rete: connettore maschio (a parte) IEC con filtro
  • Massa: ca. 18 kg

Campi di applicazione generatori RF: 

  • Plasma a bassa pressione
  • Riscaldamento RF

DATI TECNICI:

2 versioni con potenza nominale 0 – 850W / 1200W

Potenza max. di uscita    1.200 W
Corrente max. di uscita    300 mA
Tensione max. di uscita    5.000 V
Potenza max. di ingresso    < 1.300 W
Consumo max. di corrente    9 amp (senza PFC)
Tensione di rete     210…250 VAC
Efficienza    > 95 % (a potenza nominale)
Regolazione di potenza tramite corrente: 0…300 mA
Burst: 100 µ…100 ms (impulso / tempo off)
Deviazione     ± 5 % (dal valore massimo, compensazione di temperatura)
Raffreddamento    aria, max. 70 l/min, termoregolato
Temperatura ambiente    +15…+40 °C
Tempo di intervento per guasto di carico:
cortocircuito/circuito aperto < 1 sec
errore di controllo < 5 sec
Dimensioni    < 485 x 145 x 290 mm³ (bxhxt)
Peso    ca. 6,0 kg
Interfaccia PC

Campi di applicazione: pulizia, attivazione, etching, plasma-polimerizzazione anche su semiconduttori front-end e back-end

ACCESSORI:

Per i generatori LF ed RF è disponibile un dispositivo per la misura della tensione Bias.

Per i generatori a microonde è disponibile un dispositivo per il rilevamento di irradiazioni di microonde.
Hai delle domande? Siamo a tua disposizione!