Tetra 100 PC / PCCE
| MODELLO | TETRA 100 | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  |
||||
| PROCESSI TIPICI
|
· Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating |
||||
| APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia |
||||
| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC |
||||
| Camera da vuoto | rettangolare | acciaio inox | A=400x400mm | L=625mm | V= 100l |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC |
||||
| Generatore | · LF (80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz |
||||
| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco |
||||
| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… |
||||
| Scheda tecnica | Tetra_100_DE_ENG.pdf | ||||
