Tetra 100 PC / PCCE
MODELLO | TETRA 100 | ||||
IMMAGINE (ESEMPIO) | ![]() |
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PROCESSI TIPICI
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· Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating |
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APPLICAZIONI | · Produzione
· Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM · Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia |
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Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC |
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Camera da vuoto | rettangolare | acciaio inox | A=400x400mm | L=625mm | V= 100l |
Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC |
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Generatore | · LF (80kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz |
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Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco |
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Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… |
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Scheda tecnica | Tetra_100_DE_ENG.pdf |