DLC è un sistema di rivestimento DLC che è disponibile in diverse versioni.
Tipo impianto: Tetra 30 RF PC
Alloggiamento: B 600, H 2100 T 800
Camera: B 305, H 305 T 360
Volume camera: ca. 34L
Controllo: Controllo PC, manutenzione a distanza possibile
Fornitura di gas: tramite regolatori di flusso di massa (MFC)
Generatore: Generatore RF con 13,56 MHz con fino a 1000 watt, Abbinamento automatico
Riscaldamento: Camera di riscaldamento e tubo di riscaldamento fino a 80 °C
Pompa a vuoto: pompa iH1800 + pHMB2400 con aspirazione 4200 m³/h
Raffreddamento ad acqua: Rehsler TAE EVO 020 con potenza 3,8kW
Misurazione della pressione: Baratron