Pico
| MODELLO | PICO | ||||
| IMMAGINE (ESEMPIO) |  |
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| PROCESSI TIPICI
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· Pulizia
· Attivazione · Etching · Coating |
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| APPLICAZIONI | · Ricerca e sviluppo – analitica SEM / TEM
· Automotive · Tecnologia dei semiconduttori · Microsistemi · Sensori · Sterilizzazione · Lavorazione plastiche e gomme · Tecnologia medicale · Tecnologia dei tessili · Archeologia |
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| Controllo | · Semi-automatico
· Selezionatore rotativo · Basic PC · Full PC |
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| Camera da vuoto | rotonda | acciaio inox | D=150mm | L=320mm | V=ca. 5l |
| rotonda | vetro borosilicato | D=130mm | L=300mm | V=ca. 5l | |
| rotonda | vetro di quarzo | D=130mm | L=300mm | V=ca. 5l | |
| rettangolare | Acciaio inox | A=160x160mm | L=325mm | V=ca. 8l | |
| rettangolare | alluminio | A=150x160mm | L=325mm | V=ca. 7l | |
| Regolazione gas | · Valvole a spillo
· MFC |
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| Generatore | · LF (40kHz/100kHz)
· RF 13,56kHz · 2,45GHz |
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| Pompa da vuoto | · Pompe ad olio minerale / PFPE
· Pompe a secco |
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| Opzioni | · Ripiani multi-livello, RIE etc.
· Cestello rotante per oggetti sfusi, granulato, polveri · Accessori per plasma polimerizzazione · Filtro a carbone attivo · Trattamento wafer · Slow ventilation · Etc… |
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| Scheda tecnica | Pico_DE_ENG.pdf | ||||
